无掩膜显微镜 LED 曝光单元 UTA-1A（3A）-５３M  

☆用白光曝光（曝光时间可以设置）

◎ 显微镜 LED 曝光单元 UTA 系列是用于光刻的无掩模图案 投影曝光设备。 

◎ 使用金属显微镜和 LED 光源 DLP 投影仪，将分辨率为几μ m 的任意图案投影到涂有光刻胶的基板上进行曝光。您可 以在计算机上自由创建图案。

◎ 另外，可以保存创建的图案。

◎ 与电子束光刻相比，它更便宜，更容易，因为可以在空气 中在各种大小和形状的分层材料单晶薄片上形成电极。 不需要制造昂贵的电极图案掩模。 

＜用途例＞  

1、 薄膜 FET 的电极形成和空穴效应测量样品 

2、从原石的石墨烯钼中取出剥离的（薄）片，用于评估石特性的电极形成 

3、 用于研发应用的图案形成 

＜特征＞  

1、因为它是显微镜和 DLP 的组合相比现有系统更便宜的一种曝光设备。 

2、 易于使用的专用软件，可让您轻松创建图案 

3、 通过物镜倍率，可以从精细图案到进行大范围的批量曝光。 

4、它也可以安装到您自己的显微镜上（取决于显微镜的规格）。 

5、分辨率为几微米的图案成型也是可能的。 

6、 曝光范围：物镜 5X：約 1.16×0.72mm / 物镜 100X：約 60×35μｍ 

※曝光范围仅供参考。

☆曝光前可以进行测试投影（因为是红光，不会感光）

☆用白光曝光（曝光时间可以设置）